מערכת רוטור
ליבת הכוח של משאבת ואקום יבשה היא מכלול רוטור מותאם במדויק, המורכב בדרך כלל משניים עד שלושה רוטורים סליליים או בצורת טופר. רוטורי מתכת בעלי דיוק- גבוה אלה משתלבים זה בזה עם מרווחים של מיקרונים-, תוך שימוש בסיבוב נגדי- כדי להניע גז מיציאת הכניסה לכיוון יציאת הפליטה. עיצוב הפרופיל הייחודי של הרוטורים-כגון פרופילי קשת פיתולים או מעגליים-קובע את יעילות השאיבה; מהירויות סיבוב יכולות להגיע ל-3,000-6,000 סל"ד, ויחס דחיסה-בשלב בודד יכול לעלות על 10:1.
מבנה איטום
בניגוד למשאבות אטומות-בשמן, משאבות יבשות שומרות על שלמות הוואקום באמצעות מנגנון איטום משולש-שכבתי:
אטמי מבוך: תעלות פתלתלות רב-שלביות הממוקמות בקצוות הרוטור מנצלות התנגדות לזרימת אוויר כדי לחסום דליפה.
מחסום גז: גז אינרטי מוזרק למרווחים קריטיים כדי ליצור מחסום לחץ פנאומטי.
ציפויים מיוחדים: משטחי הרוטור מצופים בחומרים כמו PEEK (פוליאתר אתר קטון), המספק גם עמידות בפני שחיקה וגם מקדם חיכוך מופחת.
תכונות עיצוב אלו שומרות על קצב הדליפה מתחת ל-0.5 Pa·m³/s, ובכך עומדות בדרישות הניקיון המחמירות של תעשיות כגון ייצור מוליכים למחצה.
מודול קירור: "שומר הטמפרטורה" לפעולה רציפה
בשל היעדר שימון-על בסיס שמן, משאבות יבשות דורשות מערכת ניהול תרמית חכמה:
קירור אוויר: סנפירי פיזור חום מסגסוגת אלומיניום בשילוב עם מאוורר צנטריפוגלי מפזרים עד 60% מהחום שנוצר.
קירור מים: לולאת זרימת מים בצינור-נחושת פנימית מספקת יעילות חילופי חום הגבוהה פי שלושה מזו של קירור אוויר.
שלב-שינוי קירור: דגמים מסוימים משתמשים בטכנולוגיית צינורות חום, ומשיגים קצב מוליכות תרמית הגבוה פי 100 מזה של נחושת טהורה.
