המונח "משאבת ואקום קטנה" מתייחס ספציפית למשאבת ואקום *מיניאטורית*; בשל הממדים הקומפקטיים שלהן, משאבות ואקום מיניאטוריות מכונות בדרך כלל משאבות ואקום קטנות. משאבת ואקום מיניאטורית (כלומר, משאבת ואקום קטנה) מוגדרת כהתקן הכולל פתח יניקה ופתח פליטה יחיד, המסוגל ליצור באופן רציף ואקום או לחץ שלילי בכניסה ובו זמנית ליצור לחץ חיובי קל במפלט. מדיום העבודה העיקרי שלו הוא גז, והוא מאופיין בגודלו הזעיר.
אם מיכל אטום (בתחילה בלחץ אטמוספרי סטנדרטי של 100 kPa) מחובר למשאבת ואקום מיניאטורית ונתון לפינוי מתמשך, לחץ הגז בתוך המיכל יירד בסופו של דבר מתחת ללחץ האטמוספרי, ויגיע ללחץ מוחלט של 60 kPa. יתרה מכך-תודות לשיפורים טכניים מיוחדים-הטכנולוגיה התפתחה מעבר לוואקום פשוט-רק לדגמים ולכלול משאבות מיניאטוריות כפולות-המסוגלות לשאוב וגם לשאוב (כלומר, יציאת הפליטה יכולה ליצור לחץ חיובי משמעותי). משאבות דו-פונקציות אלו{10} משמשות ליישומים כגון לחץ, ניפוח והתגברות על התנגדות המערכת. בנוסף, קיים סוג מאוד ייחודי של משאבה מיניאטורית המסוגלת לטפל גם במים וגם בגז; בניגוד למשאבות מים סטנדרטיות-שבדרך כלל סובלות מנזק אם נותנים להן להפעיל סרק או להתייבש-משאבה מיוחדת זו נועדה לפעול בצורה מהימנה בתרחישים הדורשים סרק ממושך או תנאי סרק-מיובשים.
